Гранитне компоненте се широко користе у процесу производње полупроводника због својих одличних карактеристика као што су врхунска завршна обрада, висока крутост и одлично пригушивање вибрација.Гранитне компоненте су неопходне за опрему за производњу полупроводника, укључујући машине за литографију, машине за полирање и метролошке системе јер обезбеђују прецизно позиционирање и стабилност током процеса производње.Упркос свим предностима коришћења гранитних компоненти, они такође имају недостатке.У овом чланку ћемо разговарати о недостацима гранитних компоненти за производе процеса производње полупроводника.
Прво, гранитне компоненте имају висок коефицијент топлотног ширења.То значи да се значајно шире под термичким стресом, што може изазвати проблеме током процеса производње.Процес производње полупроводника захтева високу прецизност и тачност димензија које могу бити угрожене услед термичког напрезања.На пример, деформација силицијумске плочице услед термичког ширења може изазвати проблеме са поравнањем током литографије, што би могло да угрози квалитет полупроводничког уређаја.
Друго, гранитне компоненте имају дефекте порозности који могу изазвати цурење вакуума у процесу производње полупроводника.Присуство ваздуха или било ког другог гаса у систему може изазвати контаминацију на површини плочице, што резултира дефектима који могу утицати на перформансе полупроводничког уређаја.Инертни гасови као што су аргон и хелијум могу да продре у порозне гранитне компоненте и да створе мехуриће гаса који би могли да ометају интегритет вакуумског процеса.
Треће, гранитне компоненте имају микрофрактуре које би могле да ометају прецизност производног процеса.Гранит је крхак материјал који може да развије микрофрактуре током времена, посебно када је изложен сталним циклусима напрезања.Присуство микрофрактура може довести до димензијске нестабилности, узрокујући значајне проблеме током процеса производње, као што је поравнавање литографије или полирање плочице.
Четврто, гранитне компоненте имају ограничену флексибилност.Процес производње полупроводника захтева флексибилну опрему која може да прихвати различите промене процеса.Међутим, гранитне компоненте су круте и не могу се прилагодити различитим променама процеса.Стога, било какве промене у производном процесу захтевају уклањање или замену компоненти гранита, што доводи до застоја и утиче на продуктивност.
Пето, гранитне компоненте захтевају посебно руковање и транспорт због своје тежине и крхкости.Гранит је густ и тежак материјал који захтева специјализовану опрему за руковање као што су дизалице и дизалице.Поред тога, гранитне компоненте захтевају пажљиво паковање и транспорт како би се спречила оштећења током транспорта, што доводи до додатних трошкова и времена.
У закључку, гранитне компоненте имају неке недостатке који могу утицати на квалитет и продуктивност производа процеса производње полупроводника.Ови дефекти би се могли свести на минимум пажљивим руковањем и одржавањем гранитних компоненти, укључујући периодичну проверу за микрофрактуре и дефекте порозности, правилно чишћење како би се спречила контаминација и пажљиво руковање током транспорта.Упркос дефектима, гранитне компоненте остају витални део процеса производње полупроводника због њихове врхунске завршне обраде, високе крутости и одличног пригушења вибрација.
Време поста: 05.12.2023