Гранитне компоненте се широко користе у процесу производње полупроводника због својих одличних карактеристика као што су врхунска површинска обрада, висока крутост и одлично пригушивање вибрација. Гранитне компоненте су неопходне за опрему за производњу полупроводника, укључујући литографске машине, машине за полирање и метролошке системе, јер пружају прецизно позиционирање и стабилност током процеса производње. Упркос свим предностима коришћења гранитних компоненти, оне такође имају недостатке. У овом чланку ћемо размотрити недостатке гранитних компоненти за производе из процеса производње полупроводника.
Прво, гранитне компоненте имају висок коефицијент термичког ширења. То значи да се значајно шире под термичким напрезањем, што може изазвати проблеме током процеса производње. Процес производње полупроводника захтева високу прецизност и димензионалну тачност које могу бити угрожене због термичког напрезања. На пример, деформација силицијумске плочице услед термичког ширења може изазвати проблеме са поравнањем током литографије, што може угрозити квалитет полупроводничког уређаја.
Друго, гранитне компоненте имају дефекте порозности који могу проузроковати цурење вакуума у процесу производње полупроводника. Присуство ваздуха или било ког другог гаса у систему може проузроковати контаминацију површине плочице, што резултира дефектима који би могли утицати на перформансе полупроводничког уређаја. Инертни гасови попут аргона и хелијума могу продрети у порозне гранитне компоненте и створити мехуриће гаса који би могли ометати интегритет процеса вакуумирања.
Треће, гранитне компоненте имају микрофрактуре које би могле да ометају прецизност процеса производње. Гранит је крхки материјал који би могао да развије микрофрактуре током времена, посебно када је изложен сталним циклусима напрезања. Присуство микрофрактура може довести до димензионалне нестабилности, узрокујући значајне проблеме током процеса производње, као што су поравнање литографије или полирање плочице.
Четврто, гранитне компоненте имају ограничену флексибилност. Процес производње полупроводника захтева флексибилну опрему која би могла да се прилагоди различитим променама процеса. Међутим, гранитне компоненте су круте и не могу се прилагодити различитим променама процеса. Стога, свака промена у производном процесу захтева уклањање или замену гранитних компоненти, што доводи до застоја и утиче на продуктивност.
Пето, гранитне компоненте захтевају посебно руковање и транспорт због своје тежине и крхкости. Гранит је густ и тежак материјал који захтева специјализовану опрему за руковање као што су дизалице и дизалице. Поред тога, гранитне компоненте захтевају пажљиво паковање и транспорт како би се спречила оштећења током транспорта, што доводи до додатних трошкова и времена.
Закључно, гранитне компоненте имају неке недостатке који би могли утицати на квалитет и продуктивност производа у процесу производње полупроводника. Ови недостаци се могу минимизирати пажљивим руковањем и одржавањем гранитних компоненти, укључујући периодичну инспекцију микропукотина и дефеката порозности, правилно чишћење ради спречавања контаминације и пажљиво руковање током транспорта. Упркос недостацима, гранитне компоненте остају витални део процеса производње полупроводника због своје врхунске површинске обраде, високе крутости и одличног пригушења вибрација.
Време објаве: 05.12.2023.