Компоненте гранита широко се користе у поступку производње полуводича због њихових одличних карактеристика као што су врхунска површинска завршна обрада, висока крутост и одлична пригушивање вибрација. Гранитне компоненте су од суштинске важности за опрему за полуводичку производњу, укључујући и литографиране машине, машине за полирање и метролошке системе како пружају прецизно позиционирање и стабилност током процеса производње. Упркос свим предностима коришћења гранитних компоненти, они такође имају недостатке. У овом чланку ћемо разговарати о оштећењима гранитних компоненти за производе производње полуводича.
Прво, гранитне компоненте имају висок коефицијент топлотног експанзије. То значи да се значајно проширују под топлотним стресом, што би могло проузроковати проблеме током процеса производње. Процес производње полуводича захтева високу прецизност и димензионалну тачност која би могла бити угрожена због топлотног стреса. На пример, силицијум одливљене деформације због топлотног експанзије може изазвати питања усклађивања током литографије, која би могла угрозити квалитет полуводичке уређаја.
Друго, гранитне компоненте имају порозност оштећења која би могла проузроковати цурења вакуума у процесу производње полуводича. Присуство ваздуха или било који други гас у систему могло би проузроковати контаминацију на површини од стране, што је резултирало недостацима које могу утицати на перформансе полуводичког уређаја. Инертни гасови као што су аргонски и хелијум могли би да прођу на порозне компоненте гранита и стварају гасне мехуриће који би могли да ометају интегритет вакуумског процеса.
Треће, гранитне компоненте имају микрофрактуре које би могле да ометају прецизност процеса производње. Гранит је ломљив материјал који би током времена могао развити микрофактуре, посебно када је изложен сталним циклусима стреса. Присуство микрофоктура могло би довести до димензионалне нестабилности, узрокујући значајна питања током процеса производње, као што је поравнавање литографије или полирање ливефа.
Четврто, гранитне компоненте имају ограничену флексибилност. Процес производње полуводича захтева флексибилну опрему која би могла да прими различите промене процеса. Међутим, гранитне компоненте су круте и не могу се прилагодити различитим променама процеса. Стога су све промене у процесу производње захтевају уклањање или замену компоненти гранита, што доводе до прекида и утицаја на продуктивност.
Пето, гранитне компоненте захтевају посебно руковање и превоз због њихове тежине и крхкости. Гранит је густ и тежак материјал који захтева специјализовану опрему за руковање као што су дизалице и дизалице. Поред тога, компоненте Граните захтевају пажљиво паковање и превоз да спрече оштећење током пошиљке, што доводи до додатних трошкова и времена.
Закључно, гранитне компоненте имају неке недостатке које би могле утицати на топлукционарски производ за производњу процеса и продуктивности процеса и продуктивности. Ове оштећења могу се минимизирати пажљиво руковање и одржавање гранитних компоненти, укључујући периодичне инспекцију за микрофакцију и оштећења поротности, правилно чишћење за спречавање контаминације и пажљиво руковање током превоза. Упркос оштећењима, гранитни компоненте остају витални део процеса производње полуводича због своје врхунске површинске завршне обраде, високе крутости и одличне пригушења вибрација.
Вријеме поште: Дец-05-2023