Системи ваздушних лежајева од гранита се широко користе уултрапрецизностплатформе за покрет за производњу полупроводника, оптичко поравнање и метрологију нанометарских размера.
Ови системи елиминишу механички контакт коришћењем танког филма ваздушног притиска, постижући кретање готово без трења.
Принцип ваздушног лежаја
Ваздушни лежајеви раде тако што уводе компримовани ваздух између две површине, формирајући ваздушни филм од 2–20 μm.
Ово елиминише:
- Механичко трење
- Носити
- Понашање при залепљивању и клизању
Систем се ослања на динамику флуидног филма и стабилан ламинарни ток.
Улога гранита
Гранит пружа:
- Структурна стабилност
- Сузбијање термалног дрифта
- Пригушивање вибрација
Он служи као механичка референтна база за систем кретања.
Системске компоненте
- Гранитна база
- Плочице ваздушних лежајева
- Систем за довод ваздуха
- Прецизни енкодери
- Систем за контролу кретања
Карактеристике перформанси
Типичне перформансе укључују:
- Субмикронска тачност позиционирања
- Висока праволинијскост током дугог хода
- Нула механичког зазора
Кључни извори грешака укључују нестабилност ваздушног притиска, термички помак и грешку енкодера.
Апликације
- Инспекција полупроводничких плочица
- Литографски системи
- Платформе за оптичко поравнање
- Врхунске метролошке машине
Честа питања
Да ли се ваздушни лежајеви троше?
Без механичког контакта елиминише хабање.
Зашто користити гранит?
За стабилност и пригушивање вибрација.
Шта ограничава тачност?
Стабилност ваздуха и термички ефекти.
Да ли могу да носе тешке терете?
Да, у зависности од дизајна.
Време објаве: 03.07.2026.