♦Алуминијум оксид (Al2О3)
Прецизни керамички делови које производи ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) могу бити направљени од високочистих керамичких сировина, 92~97% алуминијума, 99,5% алуминијума, >99,9% алуминијума, и CIP хладног изостатског пресовања. Синтеровање на високим температурама и прецизна обрада, димензионална тачност од ± 0,001 мм, глаткоћа до Ra0,1, температура употребе до 1600 степени. Различите боје керамике могу се направити према захтевима купаца, као што су: црна, бела, беж, тамноцрвена итд. Прецизни керамички делови које производи наша компанија отпорни су на високе температуре, корозију, хабање и изолацију, и могу се користити дуго времена у окружењу са високим температурама, вакуумом и корозивним гасовима.
Широко се користи у разним производима за производњу полупроводника: оквири (керамички носач), подлога (база), рука/мост (манипулатор), механичке компоненте и керамички ваздушни лежај.
Назив производа | Квадратна цев/шипка од алуминијумске керамике високе чистоће 99 | |||||
Индекс | Јединица | 85% Al₂O₃ | 95% Al₂O₃ | 99% Al₂O₃ | 99,5% Al₂O₃ | |
Густина | г/цм3 | 3.3 | 3,65 | 3,8 | 3,9 | |
Апсорпција воде | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Температура синтеровања | ℃ | 1620. године | 1650. | 1800. godine | 1800. godine | |
Тврдоћа | Мос | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Чврстоћа на савијање (20℃)) | МПа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Притисна чврстоћа | кгс/цм² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Дуготрајна радна температура | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650. | |
Максимална радна температура | ℃ | 1450 | 1600 | 1800. godine | 1800. godine | |
Отпорност запремине | 20℃ | Ω·cm³ | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Примена алуминијумске керамике високе чистоће:
1. Примењује се на полупроводничку опрему: керамичка вакуумска стезна глава, диск за сечење, диск за чишћење, керамичка стезна глава.
2. Делови за пренос плочица: стезне главе за руковање плочицама, дискови за сечење плочица, дискови за чишћење плочица, вакуумске чашице за оптичку инспекцију плочица.
3. Индустрија равних ЛЕД / ЛЦД дисплеја: керамичка млазница, керамички брусни диск, ПИН за подизање, шина за ПИН.
4. Оптичка комуникација, соларна индустрија: керамичке цеви, керамичке шипке, керамички стругачи за сито штампање на штампаним плочама.
5. Делови отпорни на топлоту и електричну изолацију: керамички лежајеви.
Тренутно, керамика од алуминијум оксида може се поделити на керамику високе чистоће и обичну керамику. Серија керамике од алуминијум оксида високе чистоће односи се на керамички материјал који садржи више од 99,9% Al₂O₃. Због температуре синтеровања до 1650-1990°C и таласне дужине преноса од 1 ~ 6μm, обично се прерађује у стаклени лончић уместо платинастог лончића, који се може користити као натријумова цев због своје пропустљивости светлости и отпорности на корозију алкалних метала. У електронској индустрији, може се користити као високофреквентни изолациони материјал за интегрисане колумбијске подлоге. Према различитом садржају алуминијум оксида, серија уобичајене керамике од алуминијум оксида може се поделити на 99 керамику, 95 керамику, 90 керамику и 85 керамику. Понекад се керамика са 80% или 75% алуминијум оксида такође класификује као серија уобичајене керамике од алуминијум оксида. Међу њима, керамички материјал од алуминијум оксида 99 се користи за производњу високотемпературних лончића, ватроотпорних цеви пећи и специјалних материјала отпорних на хабање, као што су керамички лежајеви, керамичке заптивке и вентилске плоче. Алуминијумска керамика 95 се углавном користи као део отпоран на корозију и хабање. Керамика 85 се често комбинује у неким својствима, чиме се побољшавају електричне перформансе и механичка чврстоћа. Може се користити са молибденом, ниобијумом, танталом и другим металним заптивкама, а неке се користе као електрични вакуумски уређаји.
Квалитетна ставка (репрезентативна вредност) | Назив производа | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Хемијски састав производа са ниским садржајем натријума, лако се синтерује | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
ЛОЛ | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Средњи пречник честица (MT-3300, метода ласерске анализе) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Величина α кристала | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Густина формирања** | г/цм³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Густина синтеровања** | г/цм³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Брзина скупљања линије за синтеровање** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO није укључен у израчунавање чистоће Al₂O₃.
* Без праха за љуштење 29,4 MPa (300 kg/cm²), температура синтеровања је 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Додавањем 0,05 ~ 0,1% MgO, синтеровање је одлично, па се може применити на керамику од алуминијум оксида чистоће веће од 99%.
AES-22S: Карактерише га висока густина обликовања и ниска стопа скупљања линије за синтеровање, применљив је за ливење у клизним калупима и друге производе великих размера са потребном димензионом тачношћу.
AES-23 / AES-31-03: Има већу густину обликовања, тиксотропију и нижи вискозитет од AES-22S. Први се користи за керамику, док се други користи као средство за смањење воде за ватроотпорне материјале, добијајући на популарности.
♦Карактеристике силицијум карбида (SiC)
Опште карактеристике | Чистоћа главних компоненти (теж.%) | 97 | |
Боја | Црна | ||
Густина (г/цм³) | 3.1 | ||
Апсорпција воде (%) | 0 | ||
Механичке карактеристике | Чврстоћа на савијање (MPa) | 400 | |
Јангов модул еластичности (GPa) | 400 | ||
Викерсова тврдоћа (GPa) | 20 | ||
Термичке карактеристике | Максимална радна температура (°C) | 1600 | |
Коефицијент термичког ширења | RT ~500°C | 3,9 | |
(1/°C x 10-6) | RT ~800°C | 4.3 | |
Топлотна проводљивост (W/m x K) | 130 110 | ||
Отпорност на термички удар ΔT (°C) | 300 | ||
Електричне карактеристике | Запреминска отпорност | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Диелектрична константа | 10 GHz | - | |
Диелектрични губитак (x 10-4) | - | ||
Q фактор (x 104) | - | ||
Диелектрични пробојни напон (KV/mm) | - |
♦Силицијум нитридна керамика
Материјал | Јединица | Si₃N₄ |
Метода синтеровања | - | Синтеровано под притиском гаса |
Густина | г/цм³ | 3.22 |
Боја | - | Тамно сива |
Брзина апсорпције воде | % | 0 |
Јангов модул стишљивости | Просек | 290 |
Викерсова тврдоћа | Просек | 18 - 20 |
Притисна чврстоћа | МПа | 2200 |
Чврстоћа на савијање | МПа | 650 |
Топлотна проводљивост | W/mK | 25 |
Отпорност на термички удар | Δ (°C) | 450 - 650 |
Максимална радна температура | °C | 1200 |
Отпорност запремине | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Диелектрична константа | - | 8.2 |
Диелектрична чврстоћа | kV/mm | 16 |