У кључној вези производње чипова - скенирању плочица, тачност опреме одређује квалитет чипа. Као важна компонента опреме, проблем термичког ширења гранитне основе машине привукао је велику пажњу.
Коефицијент термичког ширења гранита је обично између 4 и 8×10⁻⁶/℃, што је знатно ниже него код метала и мермера. То значи да се његова величина мења релативно мало када се температура промени. Међутим, треба напоменути да ниско термичко ширење не значи да нема термичког ширења. При екстремним температурним флуктуацијама, чак и најмање ширење може утицати на наноскалну тачност скенирања плочице.
Током процеса скенирања плочица, постоји више разлога за појаву термичког ширења. Температурне флуктуације у радионици, топлота генерисана радом компоненти опреме и тренутна висока температура коју изазива ласерска обрада довешће до тога да се гранитна основа „шири и скупља услед промена температуре“. Када се основа подвргне термичком ширењу, праволинијски положај вођице и равност платформе могу одступати, што резултира нетачном путањом кретања стола за плочице. Потпорне оптичке компоненте ће се такође померати, што ће довести до „одступања“ снопа скенирања. Континуирани рад током дужег времена такође ће акумулирати грешке, што ће тачност све више погоршати.
Али не брините. Људи већ имају решења. Што се тиче материјала, биће одабране гранитне жиле са нижим коефицијентом термичког ширења и подвргнуте третману старења. Што се тиче контроле температуре, температура у радионици се прецизно контролише на 23±0,5℃ или чак и ниже, а за базу ће такође бити пројектован активни уређај за одвођење топлоте. Што се тиче структурног дизајна, усвајају се симетричне структуре и флексибилни носачи, а праћење у реалном времену се врши помоћу температурних сензора. Грешке изазване термичком деформацијом динамички се исправљају алгоритмима.
Врхунска опрема, попут ASML литографских машина, помоћу ових метода одржава ефекат термичког ширења гранитне основе у изузетно малом опсегу, омогућавајући тачност скенирања плочице да достигне нанометарски ниво. Стога, све док се правилно контролише, гранитна основа остаје поуздан избор за опрему за скенирање плочице.
Време објаве: 12. јун 2025.