Гранит је уобичајено кориштен материјал у полуводичкој индустрији за одлична механичка својства, топлотна стабилност и низак коефицијент топлотне експанзије. Међутим, са све већом потражњом за већу прецизност и продуктивност, алтернативни материјали су се појавили као одрживе могућности за израду компоненти полуводичке опреме. У овом чланку ћемо истражити неке алтернативне материјале за делове гранита у полуводичкој опреми и упоређујемо њихове предности и недостатке.
Алтернативни материјали за делове гранита
1. Стакло-керамички материјали
Стаклено-керамички материјали, као што су Зеродур и Цервит, стекли су широку употребу у индустрији полуводича због своје ниске коефицијент топлотног експанзије, што је близу оног силицијума. Сходно томе, ови материјали могу пружити бољу топлотну стабилност и побољшану прецизност у процесу производње полуводича. Зеродур, посебно има висок степен хомогености и стабилности, што је чини погодним за производњу опреме за литографију.
Предности:
- низак коефицијент топлотне експанзије
- Висока прецизност и стабилност
- Погодно за апликације са високим температурама
Недостаци:
- већи трошкови у поређењу са гранитом
- Релативно крхки, може представљати изазове у обради и руковању
2 Керамика
Керамички материјали, као што су алуминијум оксид (АЛ2О3), силицијум карбида (СИЦ) и силицијум нитрида (СиЦН4), имају одлична механичка својства, отпорност на високу температуру и ниску коефицијент термичког експанзије. Ова својства чине керамику Идеална за делове за полуводичку опрему који захтевају високу топлотну стабилност и прецизност, као што су фазе и Цхуцкс.
Предности:
- Висока топлотна стабилност и снага
- низак коефицијент термичке експанзије
- висока отпорност на хабање и хемијска инертност
Недостаци:
- Може бити ломљив и склон пуцању, посебно током обраде и руковања
- обрада и полирање керамике може бити изазовно и дуготрајно
3. МЕТАЛС
Метални материјали, попут нехрђајућег челика и титанијума, коришћени су за неке делове полуводичке опреме због њихове одличне израде и велике чврстоће. Они се обично користе у апликацијама у којима није потребна висока топлотна стабилност, као што су коморни делови, спојнице и довод.
Предности:
- Добра израда и заваривање
- Велика снага и дуктилност
- ниски трошак у поређењу са неким алтернативним материјалима
Недостаци:
- висок коефицијент топлотног експанзије
- Није погодно за високотемтем апликације због проблема са термичким експанзијама
- Подложно је корозији и контаминацији
Закључак:
Укратко, док је гранит био популаран избор за делове полуводичке опреме, појавили су се алтернативни материјали, свака са јединственим предностима и недостацима. Стакло-керамички материјали су врло прецизни и стабилни, али могу бити ломљиви. Керамика је снажна и имају одличну топлотну стабилност, али такође могу бити ломљиве, што их чини изазовним за производњу. Метали су јефтини, изразиви и дуктилни, али имају већи коефицијент топлотне експанзије и подложни су корозији и контаминацији. Када одаберете материјале за полуводичку опрему, пресудно је размотрити посебне захтеве за пријаву и одабрати материјале који балансирају трошкове, перформансе и поузданост.
Вријеме поште: Мар-19-2024