У процесу преласка полупроводничке индустрије ка наноразмерним производним процесима, сечење плочица, као кључна карика у производњи чипова, има изузетно строге захтеве за стабилност опреме. Гранитна база, са својом изванредном отпорношћу на вибрације и термичком стабилношћу, постала је кључна компонента опреме за сечење плочица, пружајући поуздану гаранцију за постизање високопрецизне и високоефикасне обраде плочица.
Високе карактеристике пригушења и антивибрације: Очување прецизности сечења на нано нивоу
Када је опрема за сечење плочица у раду, велика брзина ротације вретена, високофреквентне вибрације алата за сечење и вибрације околине које генерише околна опрема имају значајан утицај на тачност сечења. Перформансе пригушења традиционалних металних база су ограничене, што отежава брзо пригушивање вибрација, што доводи до микронског подрхтавања алата за сечење и директно узрокује дефекте као што су одсечене ивице и пукотине на плочицама. Високе карактеристике пригушења гранитне базе су фундаментално решиле овај проблем.
Унутрашњи минерални кристали гранита су чврсто испреплетени, формирајући природну структуру за дисипацију енергије. Када се вибрација преноси на базу, њена унутрашња микроструктура може брзо претворити енергију вибрације у топлотну енергију, постижући ефикасно слабљење вибрација. Експериментални подаци показују да под истим окружењем вибрација, гранитна база може да ослаби амплитуду вибрација за више од 90% у року од 0,5 секунди, док металној бази треба 3 до 5 секунди. Ове изванредне перформансе пригушења осигуравају да алат за сечење остане стабилан током процеса сечења наноразмерних плочица, гарантујући глатку ивицу сечења плочице и ефикасно смањујући брзину крзања. На пример, у процесу сечења плочице од 5 nm, опрема са гранитном базом може да контролише величину крзања унутар 10 μm, што је преко 40% више него код опреме са металном базом.
Ултра-низак коефицијент термичког ширења: Отпоран на утицај температурних флуктуација
Током процеса сечења плочице, топлота која се ствара трењем алата за сечење, одвођење топлоте услед дуготрајног рада опреме и промене температуре радионичког окружења могу изазвати термичку деформацију компоненти опреме. Коефицијент термичког ширења металних материјала је релативно висок (приближно 12×10⁻⁶/℃). Када температура варира за 5℃, метална основа дужине 1 метар може се деформисати за 60μm, што доводи до померања положаја сечења и озбиљног утицаја на тачност сечења.
Коефицијент термичког ширења гранитне основе је само (4-8) × 10⁻⁶/℃, што је мање од једне трећине коефицијента металних материјала. При истој промени температуре, његова димензионална промена се готово може занемарити. Измерени подаци једног предузећа за производњу полупроводника показују да је током 8-часовног континуираног рада сечења плочица високог интензитета, када температура околине варира за 10℃, померање положаја сечења опреме са гранитном основом мање од 20μm, док је померање положаја сечења опреме са металном основом веће од 60μm. Ове стабилне термичке перформансе осигуравају да релативни положај између алата за сечење и плочице остане прецизан у сваком тренутку. Чак и при дуготрајном континуираном раду или драстичним променама температуре околине, може се одржати конзистентност тачности сечења.
Крутост и отпорност на хабање: Обезбедите дугорочни стабилан рад опреме
Поред предности отпорности на вибрације и термичке стабилности, висока крутост и отпорност на хабање гранитне основе додатно побољшавају поузданост опреме за сечење плочица. Гранит има тврдоћу од 6 до 7 на Мосовој скали и чврстоћу на притисак која прелази 120 MPa. Може да издржи огроман притисак и силу удара током процеса сечења и није склон деформацији. У међувремену, његова густа структура даје му одличну отпорност на хабање. Чак и током честих операција сечења, површина основе није склона хабању, што осигурава да опрема одржава високо прецизан рад током дужег времена.
У практичној примени, многа предузећа за производњу плочица су значајно побољшала принос производа и ефикасност производње усвајањем опреме за сечење са гранитним базама. Подаци из водеће светске ливнице показују да је након увођења опреме са гранитном основом, принос сечења плочица повећан са 88% на преко 95%, циклус одржавања опреме је продужен за три пута, што је ефикасно смањило трошкове производње и повећало конкурентност на тржишту.
Закључно, гранитна база, са својом одличном отпорношћу на вибрације, термичком стабилношћу, високом чврстином и отпорношћу на хабање, пружа свеобухватне гаранције перформанси за опрему за сечење плочица. Како се технологија полупроводника развија ка већој прецизности, гранитне базе ће играти значајнију улогу у области производње плочица, промовишући континуирани иновативни развој полупроводничке индустрије.
Време објаве: 20. мај 2025.