У полупроводничкој индустрији, инспекција плочица је кључна карика за осигурање квалитета и перформанси чипа, а тачност и стабилност инспекцијског стола играју одлучујућу улогу у резултатима детекције. Гранитна основа са својим јединственим карактеристикама, постаје идеалан избор за сто за инспекцију полупроводничких плочица, што је следећа анализа вишедимензионалних микрочипова.
Прво, димензија гаранције прецизности
1. Ултра висока равност и праволинијски облик: Гранитна основа се обрађује напредном технологијом обраде, а равност може достићи ±0,001 мм/м или чак већу тачност, а праволинијски облик је такође одличне величине. У процесу инспекције плочице, високопрецизна раван пружа стабилну потпору за плочицу и осигурава прецизан контакт између сонде инспекцијске опреме и лемљених спојева на површини плочице.
2. Веома низак коефицијент термичког ширења: производња полупроводника је осетљива на промене температуре, а коефицијент термичког ширења гранита је изузетно низак, обично око 5×10⁻⁶/℃. Када платформа за детекцију ради, чак и ако температура околине варира, величина гранитне основе се веома мало мења. На пример, у радионици са високом температуром лети, температура платформе за детекцију на бази уобичајеног метала може проузроковати померање релативног положаја плочице и опреме за детекцију, што утиче на тачност детекције; Платформа за детекцију на бази гранита може одржавати стабилност, осигурати тачност релативног положаја плочице и опреме за детекцију током процеса детекције и обезбедити стабилно окружење за високопрецизну детекцију.
Друго, димензија стабилности
1. Стабилна структура и отпорност на вибрације: Гранит, након милиона година геолошких процеса, има густу и уједначену унутрашњу структуру. У сложеном окружењу фабрике полупроводника, вибрације настале радом периферне опреме и особља које се креће ефикасно се ублажавају гранитном подлогом.
2. Тачност дуготрајне употребе: у поређењу са другим материјалима, гранит има високу тврдоћу, јаку отпорност на хабање, а тврдоћа по Мохсовој скали може достићи 6-7. Површина гранитне основе се не хаба лако током честог утовара, истовара и инспекције плочица. Према стварној употреби статистичких података, коришћење стола за тестирање гранитне основе, након 5000 сати континуираног рада, тачност равности и праволинијости може се и даље одржавати на више од 98% почетне тачности, смањујући хабање опреме услед редовне калибрације и времена одржавања, смањујући трошкове пословања и осигуравајући дугорочну стабилност рада на тестирању.
Трећа, чиста и димензија против сметњи
1. Ниско стварање прашине: окружење за производњу полупроводника мора бити веома чисто, а сам гранитни материјал је стабилан и није лако стварати честице прашине. Током рада тест платформе, прашина коју ствара база спречава да загађује плочицу, а ризик од кратког споја и отвореног кола изазваног честицама прашине је смањен. У простору за инспекцију плочица радионице без прашине, концентрација прашине око стола за инспекцију гранитне основе је увек контролисана на изузетно ниском нивоу, испуњавајући строге захтеве чистоће индустрије полупроводника.
2. Без магнетних сметњи: опрема за детекцију је осетљива на електромагнетно окружење, а гранит је немагнетни материјал, који неће ометати електронски сигнал опреме за детекцију. Приликом коришћења детекције електронским снопом и других технологија тестирања које захтевају изузетно високо електромагнетно окружење, гранитна база обезбеђује стабилан пренос електронског сигнала опреме за детекцију и осигурава тачност резултата испитивања. На пример, када се плочица тестира на високо прецизне електричне перформансе, немагнетна гранитна база избегава сметње са сигналима струје и напона детекције, тако да подаци детекције заиста одражавају електричне карактеристике плочице.
Време објаве: 31. март 2025.