У области прецизног мерења, гранитна прецизна платформа, са својом одличном стабилношћу, високом тврдоћом и добром отпорношћу на хабање, постала је идеалан темељ за многе високопрецизне мерне радове. Међутим, температурне флуктуације фактора околине, попут „убице прецизности“ скривеног у мраку, имају незанемарљив утицај на тачност мерења гранитне прецизне платформе. Од великог је значаја детаљно истражити праг утицаја како би се осигурала тачност и поузданост мерних радова.
Иако је гранит познат по својој стабилности, није имун на температурне промене. Његове главне компоненте су кварц, фелдспат и други минерали, који ће произвести феномен термичког ширења и скупљања на различитим температурама. Када температура околине порасте, прецизна гранитна платформа се загрева и шири, а величина платформе ће се благо променити. Када температура падне, она ће се смањити у првобитно стање. Наизглед мале промене величине могу се увећати у кључне факторе који утичу на резултате мерења у сценаријима прецизног мерења.
Узимајући за пример уобичајени координатни мерни инструмент који одговара гранитној платформи, у задатку високопрецизног мерења, захтеви за тачношћу мерења често достижу микронски ниво или чак и више. Претпоставља се да су на стандардној температури од 20℃ различити димензионални параметри платформе у идеалном стању и да се тачни подаци могу добити мерењем радног предмета. Када температура околине варира, ситуација је веома другачија. Након великог броја експерименталних података, статистике и теоријске анализе, под нормалним околностима, при флуктуацији температуре околине од 1℃, линеарно ширење или скупљање прецизне гранитне платформе је око 5-7 ×10⁻⁶/℃. То значи да се за гранитну платформу са дужином странице од 1 метар, дужина странице може променити за 5-7 микрона ако се температура промени за 1°C. Код прецизних мерења, таква промена величине је довољна да изазове грешке мерења изван прихватљивог опсега.
За мерења која захтевају различити нивои тачности, праг утицаја флуктуације температуре је такође различит. Код уобичајених прецизних мерења, као што је мерење величине механичких делова, ако је дозвољена грешка мерења унутар ±20 микрона, према горе наведеном прорачуну коефицијента ширења, флуктуација температуре мора се контролисати у опсегу од ±3-4 ℃, како би се грешка мерења изазвана променом величине платформе контролисала на прихватљивом нивоу. У областима са високим захтевима за прецизност, као што је мерење литографским процесом у производњи полупроводничких чипова, грешка је дозвољена унутар ±1 микрона, а флуктуација температуре мора се строго контролисати унутар ±0,1-0,2 °C. Када флуктуација температуре пређе овај праг, термичко ширење и скупљање гранитне платформе може изазвати одступања у резултатима мерења, што ће утицати на принос производње чипова.
Да би се решио утицај флуктуација температуре околине на прецизност мерења гранитне прецизне платформе, у практичном раду се често предузимају многе мере. На пример, у мерном окружењу се инсталира високопрецизна опрема за константну температуру како би се контролисале флуктуације температуре у веома малом опсегу; врши се компензација температуре на подацима мерења, а резултати мерења се коригују софтверским алгоритмом према коефицијенту термичког ширења платформе и променама температуре у реалном времену. Међутим, без обзира на то које се мере предузимају, тачно разумевање утицаја флуктуација температуре околине на тачност мерења гранитне прецизне платформе је предуслов за обезбеђивање тачног и поузданог рада мерења.
Време објаве: 03.04.2025.