У прецизном ланцу производње полупроводника, систем за пренос плочица је попут „жилачке линије производње чипова“, а његова стабилност и тачност директно одређују стопу приноса чипова. Нова генерација система за пренос плочица револуционарно комбинује линеарне моторе са гранитним базама, а јединствене предности гранитних материјала су управо кључни код за откључавање високоперформансног преноса.
Гранитна база: Изградња „чврстог темеља“ за стабилан пренос
Гранит, који је прошао стотине милиона година геолошког усавршавања, одликује се густом и уједначеном унутрашњом минералном кристализацијом. Ова природна карактеристика га чини идеалним основним материјалом за системе за пренос плочица. У сложеном окружењу чистих просторија за полупроводнике, гранит, са својим ултра ниским коефицијентом термичког ширења (само 5-7 ×10⁻⁶/℃), може да одоли топлоти која се ствара током рада опреме и утицају промена температуре околине, осигуравајући стабилност величине основе и избегавајући одступање путање преноса изазвано термичком деформацијом. Његове изванредне перформансе пригушења вибрација могу брзо да апсорбују механичке вибрације настале током покретања, гашења и убрзавања линеарних мотора, као и спољне сметње које доноси рад друге опреме у радионици, пружајући стабилну платформу са „нултим подрхтавањем“ за пренос плочица.
У међувремену, хемијска стабилност гранита осигурава да не кородира или рђа у радионицама за полупроводнике где су киселински и алкални реагенси испарљиви и где је потребна висока чистоћа, чиме се избегава утицај на тачност преноса услед старења материјала или адсорпције загађивача. Глатке и густе површинске карактеристике могу ефикасније смањити приањање прашине, испуњавајући строге стандарде чистих просторија без прашине и елиминишући ризик од контаминације плочице из корена.
Ефекат „златног партнерства“ линеарних мотора и гранита
Линеарни мотори, са својим карактеристикама без механичког зазора за пренос, великим убрзањем и великом брзином одзива, дају преносу плочице предности „брзог, прецизног и стабилног“. Гранитна база пружа чврсту и поуздану платформу за подршку. Њих двоје раде заједно како би постигли скок у перформансама. Када линеарни мотор покреће носач плочице да се креће по гранитној основној шини, јака крутост и стабилност базе обезбеђују ефикасан пренос покретачке силе мотора, избегавајући губитак силе или кашњење преноса узроковано деформацијом базе.
Вођени потражњом за наноразмерном прецизношћу, линеарни мотори могу постићи контролу померања на субмикронском нивоу. Високопрецизне карактеристике обраде гранитних база (са грешкама равности контролисаним унутар ±1μm) савршено се подударају са прецизном контролом линеарних мотора, заједно осигуравајући да је грешка позиционирања током преноса плочице мања од ±5μm. Било да се ради о брзом премештању између различите процесне опреме или прецизном паркирању за предају плочице, комбинација линеарних мотора и гранитних база може осигурати „нулто одступање и нулто подрхтавање“ приликом преноса плочице.
Верификација индустријске праксе: Двоструко побољшање ефикасности и стопе приноса
Након надоградње система за пренос плочица, водећа светска компанија за полупроводнике усвојила је решење са линеарним мотором и гранитном базом, што је повећало ефикасност преноса плочице за 40%, смањило стопу појаве грешака попут судара и померања током процеса преноса за 85% и побољшало укупну стопу приноса чипова за 6%. Иза ових података лежи гаранција стабилности преноса коју пружа гранитна база и синергијски ефекат велике брзине и прецизности линеарног мотора, што значајно смањује губитке и грешке у процесу преноса плочице.
Од својстава материјала до прецизне производње, од предности у перформансама до практичне верификације, комбинација линеарних мотора и гранитних база редефинисала је стандарде система за пренос плочица. У будућности, када технологија полупроводника напредује ка 3nm и 2nm процесима, гранитни материјали ће сигурно наставити да снажно подстицају развој индустрије својим незаменљивим предностима.
Време објаве: 14. мај 2025.