Гранитни кревет је важна компонента у различитим полуводичким уређајима. Као веома стабилан и чврст материјал, гранит се широко користи као база за опрему за обраду полуводича. Карактерише га његова ниска коефицијент термичког експанзије, висока димензијска стабилност и одлична механичка својства. Због ових својстава, гранитни кревет се најчешће користи у три различите врсте полуводичких уређаја - метролошка опрема, опрему за литографирање и инспекцијске опреме.
Метролошка опрема користи се за мерење и откривање критичних димензија полуводичких уређаја. Игра кључну улогу у одржавању квалитета и доследности процеса производње полуводича. Метролошка опрема укључује инструменте као што су оптички микроскопи, електронски микроскопи и микроскопи атомске силе (АФМС). Будући да перформансе ових мерних инструмената зависи од њихове стабилности, прецизности и отпора за вибрације, гранит је идеалан избор за њихов материјал за кревет. Уједначеност и стабилност гранитног кревета пружају стабилну платформу за инструменте који повећава њихову тачност и поузданост.
Опрема за литографију користи се за прављење микрочипа на лицу. Процес литографије захтева висок ниво прецизности и тачности за стварање сложених кругова и побољшање перформанси чипа. Опрема за литографију укључује степенице и скенерске системе који користе светло за пренос слика на лифе. Како је процес литографије, веома осетљив на вибрације и топлотне промене, висококвалитетни кревет је од суштинског значаја за осигурање стабилности и поновљивост процеса литографије. Гранитни кревети пружају потребну стабилност и строге перформансе пригушења вибрација за литографске системе. Гранитни кревет омогућава Степер-у или систем скенера да одржи прецизне просторне односе који обезбеђују високу тачност и коначни квалитет производа.
Инспекцијска опрема користи се за откривање било каквих оштећења у полуводичким уређајима. Инспекцијска опрема укључује системе као што су микроскопи ласерских скенирања, електронских микроскопа и оптичких микроскопа. По потреби да ове уређаје буду веома тачни, стабилни и отпорни на вибрације, гранитни кревети су савршен материјал. Гранична механичка својства и димензионална стабилност Помоћ у изолацији вибрације, која повећава тачност излаза инспекцијске опреме.
Закључно, гранитни кревет је пресудан за полуводичку индустрију и широко се користи у различитим врстама опреме. Његове јединствене својства као што је димензионална стабилност, ниска коефицијент термичког експанзије и одлична механичка стабилност чине гранит идеалан избор за креветни материјал опреме за кретање полуводичне опреме. Пошто висококвалитетни гранитни кревет пружа потребну стабилност, прецизност и отпорност на вибрацију полуводичкој опреми, на крају побољшава квалитет коначног производа. Стога је употреба гранитног кревета у полуводичкој опреми сигурно и даље трајала годинама.
Вријеме поште: АПР-03-2024