Гранитна подлога је важна компонента у разним полупроводничким уређајима. Као веома стабилан и крут материјал, гранит се широко користи као основа за опрему за обраду полупроводника. Карактерише га низак коефицијент термичког ширења, висока димензионална стабилност и одлична механичка својства. Због ових својстава, гранитна подлога се најчешће користи у три различите врсте полупроводничких уређаја - метролошкој опреми, литографској опреми и опреми за инспекцију.
Метролошка опрема се користи за мерење и детекцију критичних димензија полупроводничких уређаја. Она игра кључну улогу у одржавању квалитета и конзистентности процеса производње полупроводника. Метролошка опрема обухвата инструменте као што су оптички микроскопи, електронски микроскопи и атомски силови микроскопи (АСМ). Пошто перформансе ових мерних инструмената зависе од њихове стабилности, прецизности и отпорности на вибрације, гранит је идеалан избор за материјал њиховог лежишта. Уједначеност и стабилност гранитног лежишта пружају стабилну платформу за инструменте, што побољшава њихову тачност и поузданост.
Опрема за литографију се користи за израду микрочипова на плочици. Процес литографије захтева висок ниво прецизности и тачности како би се створила сложена кола и побољшале перформансе чипа. Опрема за литографију укључује степер и скенер системе који користе светлост за пренос слика на плочицу. Пошто је процес литографије веома осетљив на вибрације и термичке промене, висококвалитетни кревет је неопходан како би се осигурала стабилност и поновљивост процеса литографије. Гранитни кревети пружају потребну стабилност и строге перформансе пригушења вибрација за литографске системе. Гранитни кревет омогућава степер или скенер систему да одржава прецизне просторне односе, обезбеђујући високу тачност и квалитет финалног производа.
Опрема за инспекцију се користи за откривање било каквих дефеката у полупроводничким уређајима. Опрема за инспекцију обухвата системе као што су ласерски скенирајући микроскопи, електронски микроскопи и оптички микроскопи. С обзиром на потребу да ови уређаји буду веома прецизни, стабилни и отпорни на вибрације, гранитни кревети су савршен материјал. Механичка својства и димензионална стабилност гранита помажу у изолацији вибрација, што побољшава тачност резултата опреме за инспекцију.
Закључно, гранитни слој је кључан за полупроводничку индустрију и широко се користи у различитим врстама опреме. Његова јединствена својства као што су димензионална стабилност, низак коефицијент термичког ширења и одлична механичка стабилност чине гранит идеалним избором за материјал за слојеве полупроводничке опреме. Пошто висококвалитетни гранитни слој пружа неопходну стабилност, прецизност и отпорност на вибрације полупроводничке опреме, он на крају побољшава квалитет финалног производа. Стога ће употреба гранитног слоја у полупроводничкој опреми сигурно наставити годинама које долазе.
Време објаве: 03.04.2024.