Гранитни материјали се широко користе у индустрији полупроводника због својих одличних карактеристика, као што су висока стабилност, ниско топлотно ширење и висока отпорност на корозију.Ова својства чине гранит идеалним материјалом за изградњу високо прецизних компоненти у систему преноса плочица.
У процесу производње полупроводника, систем преноса плочице игра кључну улогу у транспорту плочица кроз различите фазе производног процеса.Прецизност и тачност су основни захтеви за ове системе јер чак и мала одступања могу угрозити цео процес.Због тога компоненте у систему преноса плочица морају бити израђене од висококвалитетних материјала, а гранит испуњава те критеријуме.
Неки делови система за пренос вафла који су направљени од гранитних материјала укључују:
1. Сто за вакуумску стезну главу
Сто за вакуумску стезну главу се користи за држање облатне током процеса и мора имати стабилну површину како би се осигурало да се плочица не оштети.Гранит је идеалан материјал за израду овог стола јер има равну непорозну површину која обезбеђује високу стабилност и прецизност.Поред тога, гранит има низак коефицијент топлотног ширења, што га чини отпорним на температурне промене које могу изазвати промене димензија у плочици.
2. Ваздушни степен
Фаза са ваздушним лежајем се користи за транспорт вафла кроз различите фазе производног процеса.Бина је пројектована да обезбеди кретање без трења, што захтева високу прецизност и стабилност.Гранит се користи у овој примени јер је чврст и тврд камен, и отпоран је на деформације и хабање током времена.
3. Водичи за линеарно кретање
Линеарне вођице за кретање се користе за вођење степена са ваздушним лежајем и морају бити тачно постављене да би се грешке свеле на минимум.Гранит се користи за израду овог водича јер има одличну механичку стабилност и снагу.Материјал је такође отпоран на корозију, што обезбеђује дуговечност система вођица.
4. Метролошка опрема
Метролошка опрема се користи за мерење димензија и својстава вафла током процеса производње.Гранит је идеалан материјал за изградњу ове опреме јер има високу крутост, ниску експанзију и минималну деформацију под оптерећењем.Штавише, термичка стабилност гранита обезбеђује да метролошка опрема остане стабилна и тачна током времена.
У закључку, индустрија полупроводника се ослања на прецизност и тачност, а гранитни материјали су се показали као веома поуздани и стабилни у процесу производње.Са многим критичним компонентама у систему преноса плочица које захтевају високу стабилност, прецизност и ниско топлотно ширење, инжењери су се окренули гранитним материјалима како би испунили ове критичне захтеве.
Време поста: 19.03.2024