Гранит се широко користи у полупроводничкој индустрији због својих одличних карактеристика, као што су висока стабилност, ниско термичко ширење и висока отпорност на корозију. Ова својства чине гранит идеалним материјалом за израду високопрецизних компоненти у систему за пренос плочица.
У процесу производње полупроводника, систем за пренос плочица игра кључну улогу у транспорту плочица кроз различите фазе производног процеса. Прецизност и тачност су основни захтеви за ове системе, јер чак и мала одступања могу угрозити цео процес. Стога, компоненте у систему за пренос плочица морају бити направљене од висококвалитетних материјала, а гранит испуњава те критеријуме.
Неки делови система за пренос плочица који су направљени од гранитних материјала укључују:
1. Сто за вакуумску стезну главу
Вакуумски стезни сто се користи за држање плочице током процеса и мора имати стабилну површину како би се осигурало да се плочица не оштети. Гранит је идеалан материјал за израду овог стола јер има равну, непорозну површину која пружа високу стабилност и прецизност. Поред тога, гранит има низак коефицијент термичког ширења, што га чини отпорним на температурне промене које би могле изазвати димензионалне промене плочице.
2. Фаза ваздушног лежаја
Постоље са ваздушним лежајевима се користи за транспорт плочице кроз различите фазе производног процеса. Постоље је пројектовано да обезбеди кретање без трења, што захтева високу прецизност и стабилност. Гранит се користи у овој примени јер је крут и тврд камен, и отпоран је на деформације и хабање током времена.
3. Линеарне водилице кретања
Линеарне вођице се користе за вођење постоља са ваздушним лежајевима и морају бити прецизно позициониране како би се грешке свеле на минимум. Гранит се користи за израду ове вођице јер има одличну механичку стабилност и чврстоћу. Материјал је такође отпоран на корозију, што осигурава дуготрајност система вођица.
4. Метролошка опрема
Метролошка опрема се користи за мерење димензија и својстава плочице током процеса производње. Гранит је идеалан материјал за израду ове опреме јер има високу крутост, мало ширење и минималну деформацију под оптерећењем. Штавише, термичка стабилност гранита осигурава да метролошка опрема остане стабилна и тачна током времена.
Закључно, полупроводничка индустрија се ослања на прецизност и тачност, а гранитни материјали су се показали као веома поуздани и стабилни у процесу производње. Пошто многе критичне компоненте у систему за пренос плочица захтевају високу стабилност, прецизност и ниско термичко ширење, инжењери су се окренули гранитним материјалима како би испунили ове критичне захтеве.
Време објаве: 19. март 2024.