Гранит је тврд и издржљив материјал који се често користи у грађевинској индустрији. Међутим, такође има својства која га чине корисним у производњи полупроводника, посебно у изради и обради интегрисаних кола. Гранитне компоненте, као што су гранитни столови и гранитни блокови, широко се користе због своје стабилности, равности и ниског коефицијента термичког ширења.
Једна од главних употреба гранитних компоненти у производњи полупроводника је у процесу израде. Силицијумске плочице, основни градивни блокови интегрисаних кола, морају се израђивати са високом прецизношћу и тачношћу. Било какво изобличење или померање током процеса може довести до дефеката који могу утицати на квалитет и функционалност интегрисаних кола. Гранитне плочице, са својом високом стабилношћу и равношћу, пружају добру платформу за опрему за обраду плочица. Такође су отпорне на термичко ширење и скупљање изазване загревањем и хлађењем потребним у процесу.
Гранитне блокове такође користе у обради полупроводника због њихове термичке стабилности. Током процеса нагризања или таложења, врући гасови или плазме се користе за модификацију површине силицијумске плочице. Температура плочице мора бити контролисана како би се осигурало да се процес изводи ефикасно и прецизно. Гранитне блокове, са својим ниским коефицијентом термичког ширења, помажу у стабилизацији температуре плочице, смањујући ризик од температурних флуктуација које би могле утицати на квалитет обрађеног материјала.
Поред процеса израде и обраде, гранитне компоненте се користе и у фазама метрологије и инспекције производње полупроводника. Метролошка мерења се врше како би се осигурало да су величина, облик и положај структура на плочици у оквиру потребних спецификација. Гранитни блокови се користе као референтни стандарди у овим мерењима због своје димензионалне стабилности и тачности. Такође се користе у фазама инспекције, где се квалитет интегрисаних кола проверава под великим увећањем.
Генерално, употреба гранитних компоненти у производњи полупроводника се повећала последњих година. Потреба за високом прецизношћу, тачношћу и стабилношћу у изради и обради интегрисаних кола подстакла је усвајање ових материјала од стране произвођача полупроводника. Јединствена својства гранита, као што су његова тврдоћа, стабилност и низак коефицијент термичког ширења, чине га одличним избором за употребу у овим процесима. Са континуираним развојем и унапређењем полупроводничке технологије, очекује се да ће употреба гранитних компоненти даље расти у будућности.
Време објаве: 05.12.2023.