Гранит је тежак и издржљив материјал који се често користи у грађевинској индустрији. Међутим, такође има својства која је чини корисним у производњи полуводича, посебно у изради и преради интегрисаних кругова. Гранитне компоненте, попут гранитних табела и гранитних блокова, широко се користе за своју стабилност, равност и ниску коефицијент топлотне експанзије.
Једна од примарних употреба гранитних компоненти у производњи полуводича је у процесу израде. Силиконски вафли, основни грађевински блокови интегрисаних кругова потребно је измишљено високом прецизношћу и тачношћу. Свако изобличење или кретање током процеса може довести до оштећења који могу утицати на квалитет и функционалност интегрисаних кругова. Гранитни столови, уз њихову високу стабилност и равност, пружају добру платформу за опрему за прераду вафле. Они су такође отпорни на топлотно ширење и контракцију проузроковане грејањем и хлађењем у том процесу.
Гранитни блокови се такође користе у полуводичкој обради за њихову топлотну стабилност. Током јеткања или поступка таложења, врући гасови или плазми користе се за модификацију површине силицијума. Температура вафла треба да се контролише како би се осигурало да се процес спроводи ефикасно и тачно. Гранитни блокови, са ниским коефицијентом термичког експанзије, помажу у стабилизацији температуре реф-а, смањење ризика од флуктуација температуре који могу утицати на квалитет прерађеног материјала.
Поред процеса израде и обраде, гранитне компоненте се такође користе у метрологији и инспекцијским фазама производње полуводича. Мерења метрологије су да се осигура да су величина, облик и положај структура на лиферу у траженим спецификацијама. Гранитни блокови се користе као референтни стандарди у овим мерењима због своје димензијске стабилности и тачности. Такође се користе у фазама инспекције, где се квалитет интегрисаних кругова проверава под високом увећањем.
Све у свему, употреба гранитних компоненти у производњи полуводича порасла је последњих година. Потреба за високом прецизношћу, тачношћу и стабилношћу у изради и преради интегрисаних кругова је усвајала ове материјале произвођача полуводича. Јединствена својства гранита, као што је тврдоћа, стабилност и низак коефицијент термичког експанзије, чине га одличним избором за употребу у овим процесима. Уз континуирани развој и унапређење полуводичке технологије, очекује се да ће се употреба гранитних компоненти расти у будућности.
Вријеме поште: Дец-05-2023