У областима као што су производња полупроводника и прецизни мерни инструменти, тачност прецизних гранитних платформи директно одређује квалитет рада опреме. Да би се осигурало да тачност платформе испуњава стандарде, напори треба да се усмере са два аспекта: детекција кључних индикатора и усклађеност са стандардним нормама.
Детекција основних индикатора: Вишедимензионална контрола тачности
Детекција равности: Одређивање „равности“ референтне равни
Равност је основни показатељ прецизних гранитних платформи и обично се мери ласерским интерферометрима или електронским либелама. Ласерски интерферометар може прецизно да измери ситне неравнине на површини платформе емитовањем ласерског зрака и коришћењем принципа светлосне интерференције, са тачношћу која достиже субмикронски ниво. Електронска либела мери вишеструким померањем и црта тродимензионалну контурну мапу површине платформе како би открила да ли постоје локална испупчења или удубљења. На пример, гранитне платформе које се користе у машинама за полупроводничку фотолитографију морају имати равност од ±0,5μm/m, што значи да разлика у висини унутар дужине од 1 метра не би требало да прелази пола микрометра. Само уз помоћ високопрецизне опреме за детекцију може се осигурати овај строги стандард.
2. Детекција праволинијског кретања: Обезбедите „праволинијско“ линеарно кретање
За платформе које носе прецизне покретне делове, праволинијски положај је од виталног значаја. Уобичајене методе за детекцију су метода жице или ласерски колиматор. Метода жице укључује вешање високопрецизних челичних жица и упоређивање размака између површине платформе и челичних жица како би се одредила праволинијски положај. Ласерски колиматор користи линеарне карактеристике пропагације ласера за детекцију линеарне грешке површине за монтажу вођице платформе. Ако праволинијски положај не испуњава стандард, то ће узроковати померање опреме током кретања, што утиче на тачност обраде или мерења.
3. Детекција храпавости површине: Обезбедите „финоћу“ контакта
Храпавост површине платформе утиче на приањање компоненти приликом уградње. Генерално, за детекцију се користи мерач храпавости са писаљком или оптички микроскоп. Инструмент типа писаљке бележи промене висине микроскопског профила додиривањем површине платформе фином сондом. Оптички микроскопи могу директно посматрати текстуру површине. У високопрецизним применама, храпавост површине гранитних платформи мора се контролисати на Ra≤0,05μm, што је еквивалентно ефекту огледала, осигуравајући да прецизне компоненте чврсто приањају током уградње и избегавајући вибрације или померање узроковано празнинама.
Стандарди прецизности прате: међународне норме и интерну контролу предузећа
Тренутно се међународно стандарди ISO 25178 и GB/T 24632 обично користе као основа за одређивање тачности гранитних платформи, а постоје јасне класификације за индикаторе као што су равност и праволинијски облик. Поред тога, висококвалитетна производна предузећа често постављају строже стандарде интерне контроле. На пример, захтев за равност гранитне платформе фотолитографске машине је 30% већи од међународног стандарда. Приликом спровођења испитивања, измерене податке треба упоредити са одговарајућим стандардима. Само платформе које су у потпуности у складу са стандардима могу осигурати стабилне перформансе прецизне опреме.
Провера тачности прецизних гранитних платформи је систематски пројекат. Само строгим тестирањем основних индикатора као што су равност, праволинијски облик и храпавост површине, и поштовањем међународних и пословних стандарда, може се гарантовати висока прецизност и поузданост платформе, постављајући чврсте темеље за врхунске производне области као што су полупроводници и прецизни инструменти.
Време објаве: 21. мај 2025.