IУ индустрији производње полупроводника, тачност опреме за инспекцију плочица је кључна за обезбеђивање квалитета интегрисаних кола. Високопрецизне гранитне основе машина, попут оних које обезбеђује ZHHIMG®, играју виталну улогу у побољшању перформанси такве опреме. Ево како оне праве разлику.
Изузетна димензионална стабилностГранит се може похвалити изузетно ниским коефицијентом термичког ширења, око (4–8)×10⁻⁶/℃, што је знатно ниже од многих метала. У строго контролисаном окружењу фабрика полупроводника, где чак и мање температурне флуктуације могу изазвати грешке у мерењу, гранитне основе машина остају стабилне. Ова стабилност осигурава да позиционирање компоненти у опреми за инспекцију плочица остане тачно, спречавајући било каква термички изазвана одступања која би могла утицати на прецизност резултата инспекције.
Супериорно пригушивање вибрацијаПроизводни подови су често испуњени вибрацијама из различитих извора. Гранитове особине пригушивања, са коефицијентом пригушења од 0,05–0,1, ефикасно апсорбују и распршују ове вибрације. За инспекцију вафли
Захваљујући конструкцији, која захтева снимање високе резолуције и прецизна очитавања сензора, смањење вибрација које пружају гранитне базе је непроцењиво. Оно минимизира сметње које би могле замутити слике или искривити податке сензора, омогућавајући опреми да прикупи јасне и тачне информације о површини и унутрашњој структури плочице.
Висока чврстоћа и отпорност на хабањеСа густином од приближно 3100 кг/м³, гранитне основе машина компаније ZHHIMG® нуде изузетну чврстоћу. Оне могу да подрже тешке компоненте опреме за инспекцију плочица без деформације, одржавајући поравнање оптичких и механичких система. Поред тога, висока тврдоћа гранита (Мосова скала 6–7) и одлична отпорност на хабање осигуравају да површина основе машине остане равна и глатка током времена. Ова конзистентност је неопходна за дугорочну тачност, јер свако хабање или деформација основе могу постепено смањити прецизност опреме.
Хемијска инертностПроизводња полупроводника подразумева излагање разним хемикалијама. Хемијска инертност гранита чини га отпорним на корозију изазвану овим супстанцама. Ово својство штити интегритет основе машине, спречавајући хемијски изазвана оштећења која би могла утицати на стабилност и тачност опреме за инспекцију.
Закључно, високопрецизне гранитне основе машина нису само компонента већ кључни фактор за постизање строгих захтева за тачношћу опреме за инспекцију плочица. Приликом избора гранитних основа машина, одлучите се за поуздане добављаче попут ZHHIMG®-а. Са вишеструким сертификатима и посвећеношћу квалитету, ZHHIMG® осигурава да свака гранитна основа машине пружа поузданост и перформансе потребне за напредну производњу полупроводника.
Време објаве: 03.06.2025.