У области производње полупроводника, субмикронска прецизност је кључ за обезбеђивање перформанси чипа, а гранитна база (ZHHIMG®), са својим својствима материјала, прецизном обрадом и иновативним дизајном, постала је основна гаранција за постизање ове прецизности.
Са становишта својстава материјала, црни гранит који је одабрао ZHHIMG® има густину од приближно 3100 кг/м³, са густом унутрашњом структуром. Ова висока густина му даје изузетну стабилност и чврстину. Током рада полупроводничке опреме, ротација мотора и кретање механичких компоненти унутар опреме генеришу вибрације. Гранитна основа може ефикасно да апсорбује преко 90% енергије вибрација, значајно смањујући утицај вибрација на тачност опреме. У међувремену, његов изузетно низак коефицијент термичког ширења омогућава му да одржи своју деформацију у веома малом опсегу када температура околине варира, пружајући стабилну основу за полупроводничку опрему и спречавајући померање компоненти опреме услед промена температуре, што би могло утицати на тачност.
Што се тиче обраде и производње, фабрика ZHHIMG® користи међународну напредну опрему за обраду и поседује четири супер велике брусилице (свака машина кошта преко 500.000 америчких долара), које могу да обављају високо прецизно брушење гранита. Захваљујући CNC обради са пет оса и другим процесима, равност основе машине може достићи нанометарски ниво, обезбеђујући ултра-равну референтну површину за уградњу полупроводничке опреме и осигуравајући прецизно позиционирање сваке компоненте опреме. Штавише, радионица са константном температуром и влажношћу (површине 10.000 квадратних метара) обезбеђује стабилно окружење за обраду. Антивибрациони ровови око ње ширине 500 мм и дубине 2000 мм, као и тихе дизалице, ефикасно изолују спољашње вибрационе сметње и осигуравају тачност обраде основе машине.
Поред тога, ZHHIMG® такође има снажне могућности прилагођавања. За посебне захтеве полупроводничке опреме, прецизни отвори за монтажу и кабловски носачи могу се префабриковати како би се постигла савршена компатибилност између опреме и базе. Истовремено, у комбинацији са метролошком и испитном опремом светске класе, као што су немачки минутни мерач Mahr (са тачношћу од 0,5μm) и швајцарска електронска либела WYLER, база машине се строго контролише и калибрише како би се осигурало да свака база машине може да испуни строге захтеве полупроводничке опреме за тачност на нивоу субмикрона.
Управо комбинација ових предности чини ZHHIMG® гранитну базу поузданим избором за постизање субмикронске прецизности у полупроводничкој опреми, помажући производњи полупроводника да се креће ка областима веће прецизности.
Време објаве: 18. јун 2025.