У области инспекције полупроводничких плочица, чистоћа окружења чисте собе је директно повезана са приносом производа. Како се прецизност процеса производње чипова константно побољшава, захтеви за платформе за ношење опреме за детекцију постају све строжи. Гранитне платформе, са својим карактеристикама нултог ослобађања металних јона и ниског загађења честицама, надмашиле су традиционалне материјале од нерђајућег челика и постале преферирано решење за опрему за инспекцију плочица.
Гранит је природна магматска стена која се углавном састоји од неметалних минерала као што су кварц, фелдспат и лискун. Ова карактеристика му даје предност нултог ослобађања металних јона. Насупрот томе, нерђајући челик, као легура метала као што су гвожђе, хром и никл, склон је електрохемијској корозији на својој површини услед ерозије водене паре и киселих или алкалних гасова у окружењу чисте собе, што резултира таложењем металних јона као што су Fe²⁺ и Cr³⁺. Када се ови сићушни јони вежу за површину плочице, они ће променити електрична својства полупроводничког материјала у накнадним процесима као што су фотолитографија и нагризање, изазвати померање прага напона транзистора, па чак и довести до кратких спојева у колу. Подаци испитивања стручних институција показују да је, након што је гранитна платформа континуирано била изложена симулираној температури и влажности чисте собе (23±0,5℃, 45%±5% RH) током 1000 сати, ослобађање металних јона било ниже од границе детекције (< 0,1ppb). Стопа дефекта плочица узрокованих контаминацијом металних јона при коришћењу платформи од нерђајућег челика може бити чак 15% до 20%.
Што се тиче контроле контаминације честицама, гранитне платформе такође показују изузетно добре резултате. Чисте собе имају изузетно високе захтеве за концентрацију суспендованих честица у ваздуху. На пример, у чистим собама ISO класе 1, број дозвољених честица од 0,1 μм по кубном метру не прелази 10. Чак и ако је платформа од нерђајућег челика прошла третман полирања, и даље може доћи до љуштења металних остатака или оксидних наслага услед спољашњих сила као што су вибрације опреме и рад особља, што може ометати оптичку путању детекције или огребати површину плочице. Гранитне платформе, са својом густом минералном структуром (густина ≥2,7 г/цм³) и високом тврдоћом (6-7 на Мосовој скали), нису склоне хабању или ломљењу током дуготрајне употребе. Измерена мерења показују да могу смањити концентрацију суспендованих честица у ваздуху подручја опреме за детекцију за више од 40% у поређењу са платформама од нерђајућег челика, ефикасно одржавајући стандарде чистоће собе.
Поред својих чистих карактеристика, свеобухватне перформансе гранитних платформи такође далеко превазилазе оне од нерђајућег челика. Што се тиче термичке стабилности, њихов коефицијент термичког ширења је само (4-8) × 10⁻⁶/℃, што је мање од половине коефицијента нерђајућег челика (око 17×10⁻⁶/℃), што може боље одржати тачност позиционирања опреме за детекцију када температура у чистој просторији варира. Висока карактеристика пригушења (коефицијент пригушења > 0,05) може брзо ублажити вибрације опреме и спречити тресење сонде за детекцију. Њихова природна отпорност на корозију омогућава им да остану стабилне чак и када су изложене фоторезистним растварачима, гасовима за нагризање и другим хемикалијама без потребе за додатном заштитом премазом.
Тренутно се гранитне платформе широко користе у напредним постројењима за производњу плочица. Подаци показују да је након усвајања гранитне платформе стопа погрешних процена у детекцији честица на површини плочице смањена за 60%, циклус калибрације опреме је продужен за три пута, а укупни трошкови производње су смањени за 25%. Како се полупроводничка индустрија креће ка већој прецизности, гранитне платформе, са својим основним предностима као што су нулто ослобађање металних јона и ниско загађење честицама, наставиће да пружају стабилну и поуздану подршку за инспекцију плочица, постајући важна снага која покреће напредак индустрије.
Време објаве: 20. мај 2025.