У производњи полупроводника, машина за фотолитографију је кључни уређај који одређује прецизност чипова, а гранитна база, са својим вишеструким карактеристикама, постала је неопходна компонента машине за фотолитографију.
Термичка стабилност: „Штит“ од температурних промена
Када је машина за фотолитографију у раду, она генерише велику количину топлоте. Чак и флуктуација температуре од само 0,1℃ може изазвати деформацију компоненти опреме и утицати на тачност фотолитографије. Коефицијент термичког ширења гранита је изузетно низак, само 4-8 ×10⁻⁶/℃, што је приближно 1/3 ширења челика и 1/5 ширења легуре алуминијума. Ово омогућава гранитној основи да одржи димензионалну стабилност када машина за фотолитографију ради дуже време или када се температура околине промени, обезбеђујући прецизно позиционирање оптичких компоненти и механичких структура.
Супер антивибрационе перформансе: „Сунђер“ који апсорбује вибрације
У фабрици полупроводника, рад околне опреме и кретање људи могу генерисати вибрације. Гранит има високу густину и тврду текстуру, и има одлична својства пригушења, са односом пригушења 2 до 5 пута већим од метала. Када се спољашње вибрације преносе на гранитну подлогу, трење између унутрашњих минералних кристала претвара енергију вибрација у топлотну енергију за дисипацију, што може значајно смањити вибрације за кратко време, омогућавајући фотолитографској машини да брзо обнови стабилност и избегне замућење или неусклађеност фотолитографског узорка услед вибрација.
Хемијска стабилност: „Чувар“ чисте животне средине
Унутрашњост фотолитографске машине долази у контакт са различитим хемијским медијима, а обични метални материјали су склони корозији или ослобађању честица. Гранит се састоји од минерала као што су кварц и фелдспат. Има стабилна хемијска својства и јаку отпорност на корозију. Након намакања у киселим и алкалним растворима, површинска корозија је изузетно мала. У међувремену, његова густа структура готово да не ствара остатке или прашину, испуњавајући захтеве највиших стандарда чистих просторија и смањујући ризик од контаминације плочице.
Прилагодљивост обраде: „Идеалан материјал“ за креирање прецизних референтних вредности
Основне компоненте фотолитографске машине морају бити инсталиране на високо прецизној референтној површини. Унутрашња структура гранита је уједначена и лако се обрађује до изузетно високе прецизности брушењем, полирањем и другим техникама. Његова равност може достићи ≤0,5μm/m, а храпавост површине Ra је ≤0,05μm, што пружа прецизну основу за инсталацију компоненти као што су оптичка сочива.
Дуг век трајања и без одржавања: „Оштри алати“ за смањење трошкова
У поређењу са металним материјалима који су склони замору и пуцању током дуготрајне употребе, гранит једва подлеже пластичној деформацији или лому под нормалним оптерећењима и не захтева површинску обраду, чиме се избегава ризик од љуштења премаза и контаминације. У практичној примени, након вишегодишње употребе, кључни индикатори перформанси гранитне основе могу и даље остати стабилни, смањујући трошкове рада и одржавања опреме.
Од термичке стабилности, отпорности на вибрације до хемијске инертности, вишеструке карактеристике гранитне основе савршено испуњавају захтеве фотолитографске машине. Како се процес производње чипова наставља развијати ка већој прецизности, гранитне основе ће наставити да играју незаменљиву улогу у области производње полупроводника.
Време објаве: 20. мај 2025.