У областима прецизне производње и научних истраживања, равност гранитних прецизних платформи је кључни показатељ за обезбеђивање тачности опреме. У наставку је детаљан увод у неколико главних метода детекције и њихове поступке рада.
I. Метод детекције ласерским интерферометром
Ласерски интерферометар је преферирани алат за високопрецизну детекцију равности. Узмимо за пример ласерски интерферометар ZYGO GPI XP, његова резолуција може достићи 0,1 nm. Приликом детекције, прво поравнајте извор светлости интерферометра са платформом и поделите површину платформе на подручја мреже димензија 50 mm × 50 mm. Након тога, подаци о интерференцијским пругама су прикупљени тачка по тачка, а подаци су уклопљени и анализирани коришћењем Зерникеовог полинома да би се добила грешка равности. Ова метода је применљива на високопрецизне платформе и може да детектује грешке равности од ≤0,5 μm/m². Уобичајено се користи у детекцији фотолитографских машина и врхунских платформи трокоординатних мерних машина.
II. Метод електронског нивоа
Детекција низа електронског либела је једноставна за руковање и веома ефикасна. Електронски либел TESA A2 (са резолуцијом од 0,01μm/m) је изабран и распоређен у низу 9×9 дуж правца X/Y осе платформе. Синхроним прикупљањем података о нагибу сваког нивоа, а затим коришћењем методе најмањих квадрата за израчунавање, може се прецизно добити вредност равности. Ова метода може ефикасно идентификовати локалне услове конкавности и конвексности платформе. На пример, може се детектовати и флуктуација од 0,2μm у опсегу од 50mm, што је погодно за брзо откривање у масовној производњи.
Iii. Метод оптичког равног кристала
Метода оптичког равног кристала је погодна за детекцију платформи мале површине. Чврсто причврстите оптички равни кристал на површину која се тестира на платформи и посматрајте интерференцијске пруге формиране између њих под осветљењем монохроматског извора светлости (као што је натријумова лампа). Ако су пруге паралелне праве пруге, то указује на добру равност. Ако се појаве закривљене пруге, израчунајте грешку равности на основу степена закривљености пруге. Свака закривљена пруга представља висинску разлику од 0,316μm, а подаци о равности могу се добити једноставном конверзијом.
Четири. Метода инспекције трокоординатне мерне машине
Трокоординатна мерна машина може постићи високо прецизна мерења у тродимензионалном простору. Поставите гранитну платформу на радни сто мерне машине и користите сонду за равномерно прикупљање података са више мерних тачака на површини платформе. Систем мерне машине обрађује и анализира ове податке како би генерисао извештај о равности платформе. Ова метода не само да може да детектује равност, већ и да истовремено добије друге геометријске параметре платформе и погодна је за свеобухватно откривање великих гранитних платформи.
Савладавање ових метода детекције може вам помоћи да прецизно процените равност гранитне прецизне платформе и пружите поуздану гаранцију за стабилан рад прецизне опреме.
Време објаве: 29. мај 2025.