Прецизна револуција у производњи полупроводника: Када се гранит сусретне са микронском технологијом
1.1 Неочекивана открића у науци о материјалима
Према извештају SEMI International Semiconductor Association из 2023. године, 63% светских напредних фабрика почело је да користи гранитне базе уместо традиционалних металних платформи. Овај природни камен, који потиче од кондензације магме дубоко у Земљи, преписује историју производње полупроводника због својих јединствених физичких својстава:
Предност топлотне инерције: коефицијент топлотног ширења гранита од 4,5 × 10⁻⁶/℃ је само 1/5 од коефицијента нерђајућег челика, а димензионална стабилност од ±0,001 мм се одржава током континуираног рада литографске машине.
Карактеристике пригушења вибрација: коефицијент унутрашњег трења је 15 пута већи од ливеног гвожђа, ефикасно апсорбујући микровибрације опреме
Природа нулте магнетизације: потпуно елиминише магнетну грешку у ласерском мерењу
1.2 Метаморфозно путовање од рудника до фабрике
Узимајући за пример интелигентну производну базу компаније ZHHIMG у Шандонгу, комад сировог гранита мора да прође кроз:
Ултрапрецизна обрада: петоосни обрадни центар за 200 сати континуираног глодања, храпавост површине до Ra0,008μm
Вештачки третман старења: 48 сати природног ослобађања од напрезања у радионици са константном температуром и влажношћу, што побољшава стабилност производа за 40%
Друго, решите шест проблема прецизности производње полупроводника „камено решење“
2.1 Шема за смањење стопе фрагментације плочице
Демонстрација случаја: Након што је ливница чипова у Немачкој усвојила нашу плутајућу гранитну платформу са гасом:
| Пречник плочице | смањење брзине чипа | побољшање равности |
| 12 инча | 67% | ≤0,001 мм |
| 18 инча | 82% | ≤0,0005 мм |
2.2 Шема пробијања тачности литографског поравнања
Систем за компензацију температуре: уграђени керамички сензор прати променљиву облика у реалном времену и аутоматски подешава нагиб платформе
Измерени подаци: при флуктуацији од 28℃±5℃, тачност уграђивања флуктуира мање од 0,12μm
Време објаве: 24. март 2025.