Одржавање тачности гранитне платформе, као референтног алата за прецизно мерење и обраду, директно утиче на квалитет производње. У наставку је дат систематски план одржавања који обухвата контролу животне средине, свакодневно одржавање и професионалну калибрацију како би се осигурало да платформа одржава тачност на нанометарском нивоу током дужег временског периода.
1. Контрола животне средине: Изградња прецизне заштитне баријере
Управљање температуром и влажношћу
Температура радне средине мора бити стабилизована на 20±1℃. Свако колебање од 1℃ изазвати ће термичку деформацију гранитне платформе од 0,5-1μm/m. У радионици се може инсталирати систем за константну температуру како би се спречило да излази за климатизацију директно дувају на платформу.
Влажност треба контролисати између 40% и 60%. Прекомерна влажност може лако изазвати рђу на металним деловима, док прениска влажност може довести до сметњи статичког електрицитета у мерењу.
Изолација вибрација
Платформу треба држати даље од извора вибрација као што су машине за штанцање и глодалице. Препоручује се одржавање растојања већег од 3 метра од опреме за вибрације.
Ако се вибрације не могу избећи, на дну платформе могу се уградити ваздушни амортизери како би се смањио утицај вибрација из околине на равност платформе (што може смањити спољашње вибрације за више од 80%).
2. Свакодневно одржавање: Пажљива контрола од чишћења до заштите
Спецификација за чишћење површине
Уклањање прашине: Обришите површину јеленском кожом или крпом која не оставља влакна у истом смеру сваког дана како бисте спречили да честице прашине (≥5μm) огребу платформу. Тврдокорне мрље могу се нежно обрисати безводним етанолом (чистоћа ≥99,7%). Не смеју се користити јаки растварачи попут ацетона.
Одмашћивање: Ако дође у контакт са мрљама од уља, обришите га разблаженим неутралним средством за чишћење, затим исперите дејонизованом водом и осушите на ваздуху како бисте спречили продирање минералног уља у ситне поре платформе.
Заштита од терета и судара
Носивост платформе треба да се контролише унутар 70% номиналног оптерећења (на пример, за платформу од 1000 кг, препоручује се да оптерећење буде ≤700 кг) како би се избегла трајна деформација изазвана локалним преоптерећењем.
Строго је забрањено ударање радних предмета о платформу. Приликом руковања алатима носите меке рукавице како бисте спречили да оштри предмети огребу површину (огреботине дубље од 20μm утицаће на мерење путање рефлектоване светлости).
3. Професионална калибрација: суштина научног одржавања тачности
Подешавање циклуса калибрације
Конвенционални сценарији употребе: Калибришите једном у кварталу и користите ласерски интерферометар за детекцију равности (са тачношћу од ±0,5 μм/м).
Употреба високе фреквенције или тешка окружења: Месечна калибрација, са фокусом на праћење подручја осетљивих на температуру (као што је ивица платформе у близини извора топлоте).
Обрада након калибрације
Ако се пронађе одступање равности (нпр. > ±1μm/m), стручни техничар мора да га избруси и поправи користећи микро-прах W1.5. Самобрушење брусним папиром је строго забрањено.
Након калибрације, податке треба забележити и архивирати, а треба успоставити криву слабљења тачности платформе како би се унапред предвидели захтеви за одржавање.
4. Складиштење и транспорт: Избегавајте скривени губитак прецизности
Кључне тачке за дугорочно складиштење
Приликом складиштења, треба га покрити поклопцем отпорним на влагу и прашину. Дно треба да буде ослоњено на три тачке (тачка ослонца се налази на 2/9 дужине платформе) како би се спречила деформација савијања изазвана гравитацијом (платформа од 1 метра може се савити за 0,3μm због дуготрајног ослонца на једној тачки).
Редовно (месечно) мењајте положај тачака ослонца платформе како бисте избегли дугорочни локални притисак.
План заштите транспорта
Превоз на кратке удаљености: Омотајте пеном која апсорбује ударце, причврстите унутар чврстог оквира и одржавајте убрзање унутар 2g.
Транспорт на велике удаљености: Потребно је вакуумски упаковати и напунити сувим азотом. Након доласка, треба га оставити да одстоји 24 сата док се температура не уравнотежи пре распакивања како би се спречило да кондензациона вода утиче на тачност.
5. Предвиђање кварова: Технике за идентификацију раних проблема
Визуелни преглед: Редовно посматрајте површину помоћу лупе од 40 пута. Ако се пронађу континуиране огреботине или значајно смањење сјаја, то може указивати на пад тачности.
Детекција звука: Нежно куцните по платформи. Ако звук постане промукао (нормално би требало да буде јасан звук), унутра могу бити микропукотине. Одмах престаните да га користите ради детекције.
Захваљујући овом систему одржавања, ZHHIMG® гранитна платформа може да одржи равност од ±1μm/m током 10 година, што је више од три пута дуже од прецизног века трајања платформи које се не одржавају правилно. Пракса је доказала да је након што је одређена фабрика полупроводника усвојила ово решење, учесталост калибрације платформе смањена за 50%, а годишњи трошкови одржавања уштеђени су за више од 150.000 јуана.
Време објаве: 18. јун 2025.