Како полупроводничка индустрија агресивно тежи ка процесним чворовима испод 2nm, маргина за механичке грешке је практично нестала. У овом окружењу са високим улозима, стабилност процесне коморе више није секундарна брига; она је примарно уско грло за принос. У ZHHIMG-у посматрамо фундаменталну промену у начину на који глобални произвођачи оригиналне опреме приступају структурном интегритету полупроводничке капиталне опреме.
Физика тишине: Напредне технике пригушења вибрација
У модерној производњи плочица, вибрације које су се некада сматрале „позадинском буком“ сада су катастрофалне. Било да су у питању микроосцилације из система за грејање, вентилацију и климатизацију објекта или унутрашња инерција брзог скенирајућег постоља, неконтролисана енергија директно се претвара у грешке преклапања и замућене обрасце.
Тренутне технике пригушења вибрација у производњи полупроводника еволуирале су у вишеслојну архитектуру. Док пасивно пригушење – коришћење материјала велике масе попут минералног ливења или прецизног гранита – остаје основа, видимо пораст интеграције активног пригушења.
Активни системи користе пиезоелектричне актуаторе и сензоре у реалном времену да би „поништили“ вибрације генерисањем контрафреквенција. Међутим, ефикасност активних система је суштински ограничена коефицијентом пригушења основног материјала. Овде стручност ZHHIMG-а у области високо пригушених структурних материјала постаје кључна. Комбиновањем активне електронике са природно инертном гранитном или композитном базом, обезбеђујемо „мирну зону“ где се нанопозиционирање може одвијати без сметњи.
Успон кретања без трења: Технологија ваздушних лежајева
Потражња за већим протоком довела је традиционалне механичке лежајеве до њихових граница. Трење доводи до загревања, а топлота доводи до термичког ширења – непријатеља прецизности. То је довело до широког усвајања...технологија ваздушних лежајева за прецизне позорнице.
Ваздушни лежајеви носе оптерећење на танком филму притисканог ваздуха, обично дебљине само неколико микрона. Пошто нема физичког контакта, нема статичког трења (лепљења). Ово омогућава:
-
Кретање без хистерезиса: Осигуравање да се позорница сваки пут враћа на потпуно исту нанометарску координату.
-
Константност брзине: Критична за примене скенирања попут инспекције Е-зраком где би чак и најмање „назубљење“ механичког лежаја искривило слику.
-
Изузетна дуготрајност: Пошто нема делова који се додирују, нема хабања нити стварања честица, што их чини идеалним за чисте просторије класе 1.
У ZHHIMG-у производимо ултра-равне гранитне површине које служе као вођице за ове ваздушне лежајеве. Да би правилно функционисале, ове површине морају бити изравнате до равности мерене у деловима светлосне таласне дужине.
Трендови у полупроводничкој капиталној опреми: 2026. и даље
Како се крећемо кроз 2026. годину,трендови у полупроводничкој капиталној опремикарактеришу „Три стуба“: модуларизација, одрживост и термална контрола.
-
Модуларни дизајн платформе: Произвођачи оригиналне опреме (OEM) траже основне модуле „укључи и користи“. Уместо пројектовања нове базе за сваки алат, они користе стандардизоване прецизне ZHHIMG основе које се могу прилагодити за литографију, метрологију или нагризање.
-
Термално управљање: Пошто EUV (екстремно ултраљубичасти) извори светлости генеришу огромну топлоту, база машине мора да делује као масивни хладњак. Интегришемо сложене канале за хлађење директно у наше минералне и гранитне компоненте како бисмо одржали делту од $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Компатибилност са вакуумом: Како се све више процеса пребацује у окружења са високим вакуумом, материјали који се користе морају имати нулту испуштање гасова. Наша специјализована обрада гранита и керамике осигурава да интегритет вакуума никада не буде угрожен структурним темељима.
Стратешко партнерство са ZHHIMG-ом
ZHHIMG није само произвођач компоненти; ми смо стратешки партнер у ланцу снабдевања контролом кретања. Наш погон у Кини ради у тесној сарадњи са инжењерским тимовима у Силицијумској долини и Ајндховену како би решио најтеже изазове стабилности у индустрији.
Користећи наше сопствене технике лепљења и наше дубоко разумевањетехнике пригушивања вибрација, омогућавамо нашим клијентима да померају границе Муровог закона. Без обзира да ли развијате алатку за атомско депозицију (ALD) следеће генерације или брзи испитивач плочица, темељ почиње са ZHHIMG-ом.
Закључак
Еволуција производње полупроводника је трка против закона физике. Како се индустрија креће ка 2026. години, фокус на прецизност ваздушних лежајева и напредно пригушење ће се само интензивирати. Да бисмо остали испред ових трендова, потребан је темељ – и буквално и фигуративно – изграђен на стручности и иновацијама.
Време објаве: 26. јануар 2026.